MicroSpotMonitor MSM+ 微米光斑雷射診斷儀
PRIMES MSM+ 是一款專為「微米級精密加工」打造的相機基底雷射診斷儀。它宛如雷射領域的高倍率顯微鏡，能在製程區域直接測量 10 µm 至 1 mm 的極微小聚焦光斑。支援紫外 (UV)、綠光至近紅外 (NIR) 波段，不僅能處理最高 500 W 的平均功率，更是診斷皮秒 (ps) 與飛秒 (fs) 超短脈衝雷射的終極利器。
為什麼 MSM+ 如此特別？
■ 相機基底與微光學高倍放大
透過高精度測量物鏡，將極微小雷射光束精準放大成像至內部 CCD 感測器。即便是肉眼難以察覺的微米級光斑，也能獲得極高的成像解析度與詳細數據。
■ 多級智能衰減保護
內建分束器與中性密度濾光片（ND filter），搭配選配的 5 檔馬達驅動濾光輪 (OD 0–5)，提供超寬廣的衰減範圍，確保高能量密度光束成像時不會破壞 CCD 感測器。
■ XYZ 三軸全自動精密掃描
相機機體可在 X-Y 平面 (2×2 mm) 與 Z 軸 (35 mm / 120 mm) 進行自動化位移，實現自動化 3D 焦散線測量，完整還原雷射傳播軸線上的能量分佈。
■ 高彈性光學路徑模組化
支援多款可互換物鏡 (3.3x, 5x, 10x 放大倍率)，並可選配光束路徑延伸器 (BPE) 與場物鏡 (FO)，精準匹配不同的雷射波長、數值孔徑與光斑半徑。
■ 前瞻視覺診斷與像差分析
整合 LDS 軟體，可精算光束直徑、焦點位置、M² 因子、BPP (光束參數積) 與發散角。強大的視覺化工具能幫助工程師快速找出鏡片污染或光學像差等微小異常。
■ 工業級安全與水冷升級
機身設計堅固，內建硬體安全電路，能在異常時自動關閉雷射。針對高功率需求更可選配水冷系統，讓測量功率上限提升至 500 W。
誰會適用 MSM+？
PRIMES MSM+ 微米光斑雷射診斷儀，是追求極限精密的行業標配：
- ✔ 雷射製造商： 用於高亮度雷射源與前瞻光源出廠前的極致品質驗證。
- ✔ 微精密加工業： 涵蓋微電子晶圓鑽孔、醫療器材（如支架切割）與超微細焊接。
- ✔ 高端積層製造 (3D列印)： 專為採用超短脈衝 (USP) 雷射的微米級精密金屬 3D 列印提供把關。
- ✔ 研發與聚焦頭優化： 協助研發團隊驗證加工頭光學路徑，剖析雷射與材料的微觀反應。
- ✔ 高階品質管理： 快速排查光學元件污染、熱鏡效應或像差失真，確保製程零缺失。
詳細技術規格
| MEASUREMENT PARAMETERS | MSM+ |
|---|---|
| Power range | 1 mW – 200 W (optional 500 W with water cooling) |
| Wavelength range | 340 – 360 nm (UV) 515 – 545 nm (Green) 1030 – 1090 nm (NIR) |
| Beam diameter | 10 µm – 1000 µm |
| MEASUREMENT RESULTS | |
| Focus position / Focus radius | Yes (x, y, z) |
| Beam quality factor M² / BPP / Divergence | Yes |
| Power density distribution | 2D, 3D |
| DEVICE PARAMETERS | |
| Travel range x-y-plane / z-axis | X-Y: 2 x 2 mm | Z: 35 mm or 120 mm |
| Integrated variable attenuation (option) | Filter wheel with 5 OD filters (OD 0 – 5) |
| SUPPLY & COMMUNICATION | |
| Compressed air / Interfaces | 0.5 – 1 bar (ISO 8573-1: 6:4:4) | Ethernet |
| Dimensions & Weight | 427 x 202 x 181 mm | approx. 15 kg |
1) 水冷規格僅適用於選配之 MSM+ 500 W 高功率版本（歡迎洽詢長豐團隊）。
PRIMES MSM+ 以其卓越的放大解析度、自動化三軸掃描與高階相機診斷能力。
它能精準解析微米級與超短脈衝雷射，是您打造零缺陷精密加工產線的極致選擇。